1. Quartz wafer Spec 결정 시 고려할 내용
1. Quartz Size : 4”
2. Thcikness : 0.5T
3. Flat : 1Flat
4. Surface Finished : Double Side Polished
5. Grade : IR Grade 혹은 표준
수량 25장
최종적으로 원하는 것은 Silicon on Quartz 입니다. 가능하다면 아래 공정도 견적 부탁 드립니다.
위 기판에 실리콘 1.5 um 증착, bonding 등등