1. Evaporation & sputter
Process chamber : 2 ea
Loadlock chamber : 1 ea
Transper chamber : 1 ea
Spare slot : 1 ea
* evapor와 sputter가 모두 가능한 장비이며, evapor만도 할수 있고, sputter만 할수도 있습니다.
그리고, evapor했던 공정을 자동으로 sputter로 로딩할 수도 있습니다.
2. UV laser - cutting & patterning
AS/IS 상태
장비를 매각합니다. 필요하신 분들 연락 부탁드립니다.
자세한 스펙은 첨부 파일 보시면 됩니다.
010-9173-7016
- pme200(spec.summay)_20140905.pdf (296KB) (315)
- 스펙_klc5500_20150205.pdf (578KB) (236)
- pme-200(사진)_20140905.pdf (4.5MB) (264)