Si3N4 두께별 Color chart by LPCVD

바이세미 | 2017.01.16 20:39 | 조회 3273
LPCVD를 통한 Si3N4 성장할 때 두께별 색깔 차트입니다.

업무에 참조하시길 바랍니다. 저흰 LPCVD를 통해 200Mpa 정도의 Low stress를 증착 공급 가능합니다.


태그 Si3N4, Nitride, LPCVD
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