RE:필름마스크 제작 관련 질문입니다.

바이세미 | 2021.03.10 11:55 | 조회 1147


 최소선폭이라고하면 라인 선폭과 라인과 라인 스페이스의 선폭을 모두 말하는 것입니다.

 Pitch라고도 하고요




안녕하세요 반도체를 공부하고있는 학생입니다.

이런 질문을 여기에다 올려도 될지 모르겠지만 아무리 자료를 찾아보아도 없어 질문을 드리게 되었습니다.

보통 필름마스크는 20 um 선폭을 한계로 이야기들 하는데
이 경우 선과 선사이의 간격또한 20 um 한계인지 궁금합니다.
말로는 정확히 전달이 힘들거 같아 이미지 파일을 업로드 해 드립니다.

필름마스크 제작시
빨간색으로 표시해둔 부분의 간격이 20 um 이하로 가능한지 궁금합니다.

질문 읽어주셔서 감사드리며
봄 이긴 하나 날씨가 매우 춥습니다. 감기 조심하시고 항상 건승하시기를 바라겠습니다.



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