Si wafer 방향에 대하여

안녕하세요, 반도체를 공부하고 있는 학생입니다.

자주 바이세미 사이트에 들어와서 업체 동향이나 관련 자료를 보고 정말 많은 도움 받고 있습니다.

진심으로 감사드립니다.

여러가지 반도체를 만드는데 사용되는 Si wafer의 (100)wafer와 (111)wafer의

차이점에 대해 자세히 알고 싶습니다.

예를 들어 물성은 (111)wafer가 좋은데 왜 더 좋은지, Growth rate, cost, Oxidation rate 등은 무엇이 더 좋고 왜 그런 것인지.

또 BCDMOS에서는 (100)을 사용하는데 왜 그런 것인지 자세히 알고 싶습니다.

감사합니다.