필름마스크 제작 관련 질문입니다.

김영삼 | 2021.03.02 18:00 | 조회 1202
안녕하세요 반도체를 공부하고있는 학생입니다.
이런 질문을 여기에다 올려도 될지 모르겠지만 아무리 자료를 찾아보아도 없어 질문을 드리게 되었습니다.

보통 필름마스크는 20 um 선폭을 한계로 이야기들 하는데
이 경우 선과 선사이의 간격또한 20 um 한계인지 궁금합니다.
말로는 정확히 전달이 힘들거 같아 이미지 파일을 업로드 해 드립니다.

필름마스크 제작시
빨간색으로 표시해둔 부분의 간격이 20 um 이하로 가능한지 궁금합니다.

질문 읽어주셔서 감사드리며
봄 이긴 하나 날씨가 매우 춥습니다. 감기 조심하시고 항상 건승하시기를 바라겠습니다.



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