4-Point Probe

 

표면검사용 나트륨램프

1. 디스크, 웨이퍼, 액정 패널의 먼지 흠집 육안 검사
2. 액정 및 유리의 간섭 무늬 육안 검사

특징

●번쩍거림이 없어서 눈의 피로가 없기 때문에 작업성이 향상됩니다.
●CCD카메라와 조합해서 모니터로 흠집이나 이물질의 확인이 가능합니다.
●빛의 조절이 자유롭기 때문에 최적의 조건으로 검사가 가능합니다.
●플랙시블 암의 채용으로 빛의 각도가 자유롭게 조절 가능합니다.
●램프 냉각용 팬 on/off 스위치가 있어서 클린룸 내에서도 사용이 가능합니다.
●홀더의 부착으로 광원부의 분리가 가능합니다.
●램프의 수명은 연속점등 10,000시간으로서 장시간 사용이 가능합니다.
●500nm이하의 파장을 커트하고 있기 때문에 눈에 부담을 주지 않고
   레지스트를 감광시키지 않습니다.

검사 대상 제품

◇실리콘 글라스 웨이퍼
◇액정필터 칼라필터
◇글라스 렌즈
◇포토마스크
◇필름
◇세라믹
◇디스크
◇금속표면 (알루미늄, 스테인레스, 동)
◇브라운관

 


FY100R


FY100RHS/

간섭무늬 검사 램프

액정용 유리기판의 제조 공정상 없어서는 안될
간섭무늬에 의한 육안검사에
간섭무늬 검사램프 FNA-35형의 사용을 적극 권장합니다.
본 램프를 광원으로 사용하시면 반드시
수율 향상에 도움이 되리라고 확신합니다.

★특징

●저렴한 가격
●램프의 긴 수명 (9,000시간)
●소형 경량이기 때문에 이동이 간편
●간섭무늬 검사에 따른 셀 겝이나 막 두께의 측정이 가능
●광원 : 35~90W의 특수 램프


                  간섭무늬

 

★전자점등 방식채용★


FNA-35형


FNA-90형 박스

투과광 검사 램프

상품을 투과 시켜 검사하기 위한 광원입니다.
백라이트 조명으로 투명 및 반투명 제품의 핀홀, 기포, 이물질 등의 외관 검사용으로 사용합니다.
특히, 액정 점합 전, 후 및 칼라필터의 검사에 꼭 필요한 제품입니다.
안정기는 인버터를 사용하고 있습니다.

옐로우 필터의 화이바 조명

FYF-150

 

표면검사 램프 FY-100R형 동등의 파장을
옐로우 필터로 추출하기 때문에 FY-100R형과
동등의 미세한 흠집, 이 물질 등의 검사에 최적입니다.

FYF-250 (화상처리 대응)

 

FYF-150형과 동등의 파장이지만 250W 타입이기 때문에
내열성 화이바를 사용하고 있습니다.

그리고 직류전원 점등방식을 채용 함으로서
화상 처리용 광원으로 사용이 가능합니다.

자동 절환식 램프 박스


 투과 검사용 (3파장 형광등 점등 시)


간섭무늬 검사용 (간섭무늬 검사 램프의 점등 시)

●액정 패널이나 칼라필터의 대형화에 따른 손으로 들고 검사하기가 어려워지고 있습니다.
●제조공정에서 3파장 형광등에 의한 투과검사나 간섭무늬 검사램프를 1개의 박스로 통합한
   자동 절환식 광원 박스입니다.
●어 구동식으로 셔터를 제어하여 사용합니다.
●제조현장의 조건에 맞추어 각 세대별 액정 패널 검사용 램프박스를 설계 제작합니다.

 

블랙 라이트

★용도
비파괴 검사
UV형광 누설검사
UV에 의한 수지의 경화
형광물질의 검출 (광석, PDP 패널의 형광체 검사)

★특징
저렴한 가격, 고품질 고강도의 제품
필터의 홀더는 유연성이 풍부한 실리콘제 이므로 전구의 교환이 용이
Maxima3500은 15인치(38cm)거리에서 자외선 강도가 60,000㎼/㎠로 높은 강도


Maxima3500


SB-100P


BIB-150P